特許
J-GLOBAL ID：200903071270079490

混成研磨用スラリー

発明者：
ドリス・クウォック

ドリス・クウォック について

, 
ジェイムズ・ケント・ナップ

ジェイムズ・ケント・ナップ について


出願人/特許権者：
プラクスエアー エス ティー テクノロジー インコーポレーテッド

プラクスエアー エス ティー テクノロジー インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-077989
公開番号（公開出願番号）：特開2001-260005
出願日： 2001年03月19日
公開日（公表日）： 2001年09月25日
要約：
【要約】【課題】 アルミナをベースとするスラリーに匹敵した除去速度で6Åより低い表面粗度の平滑表面を作るための研磨用スラリーを提供すること。【解決手段】 本発明は、1〜30重量%の一次研磨用粒子、1〜50重量%の分散コロイド粒子、1〜40重量%の酸化剤及び残余量の水を含む表面研磨用の混成スラリー混合物であって、前記一次研用磨粒子が酸化物、窒化物、炭化物及び硼化物より成る群から選択される少なくとも1種の金属化合物であり且つ平均直径約0.1〜2μmの粒子寸法を有し、前記の分散したコロイド粒子がアルミナ及びシリカより成る群から選択される少なくとも1種の酸化物であり且つ平均直径約2〜500nmの粒子寸法を有する、前記混成スラリー混合物に関する。
請求項（抜粋）：
約1〜30重量%の一次研磨用粒子、約1〜50重量%の分散コロイド粒子、約1〜40重量%の酸化剤及び残余量の水を含む表面研磨用の混成スラリー混合物であって、前記一次研用磨粒子が酸化物、窒化物、炭化物及び硼化物より成る群から選択される少なくとも1種の金属化合物であり且つ平均直径約0.1〜2μmの粒子寸法を有し、前記の分散コロイド粒子がアルミナ及びシリカより成る群から選択される少なくとも1種の酸化物であり且つ平均直径約2〜500nmの粒子寸法を有する、前記混成スラリー混合物。
引用特許：
審査官引用 (4件)
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