特許
J-GLOBAL ID：200903071298114860
自動レシピ作成装置及び作成方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 中村 友之
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-214173
公開番号（公開出願番号）：特開2006-040930
出願日： 2004年07月22日
公開日（公表日）： 2006年02月09日
要約：
【課題】 レシピ作成に必要な情報を共有でき、レシピ作成時の入力作業量を削減可能な自動レシピ作成装置及び作成方法を提供する。【解決手段】 製品の製造に用いる製造装置101、102、・・・・・、10nのレシピを作成する自動レシピ作成装置1aであって、製品ごとに設定される製品情報と、製品に適用される製造工程ごとに設定されるプロセス情報とをマージして、レシピ中間データを作成するデータマージ部11と、レシピ中間データの情報と、製造装置101、102、・・・・・、10nの動作をそれぞれ規定するパラメータについて製造工程で共通に設定される情報を記述したベースレシピの情報とをマージして、製造装置101、102、・・・・・、10nごとにレシピを作成するレシピ作成部12とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
製品の製造に用いる複数の製造装置のレシピを作成する自動レシピ作成装置であって、
前記製品ごとに設定される製品情報と、前記製品に適用される複数の製造工程ごとに設定されるプロセス情報とをマージして、レシピ中間データを作成するデータマージ部と、
前記レシピ中間データの情報と、前記複数の製造装置の動作をそれぞれ規定する複数のパラメータについて製造工程で共通に設定される情報を記述したベースレシピの情報とをマージして、前記複数の製造装置ごとにレシピを作成するレシピ作成部
とを備えることを特徴とする自動レシピ作成装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/02 Z
, G06F17/60 108
