特許
J-GLOBAL ID：200903071411088243
X線反射率測定方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-296735
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116896
出願日： 1999年10月19日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 測定時間を短縮し、再現性に優れ、かつ精密な機械的構造を必要としないX線反射率測定方法およびその装置を提供する。【解決手段】 連続した波長の1次X線B1を試料3に照射し、試料3に対する1次X線B1の入射角度θを一定に保持した状態で試料からの反射X線B2の強度を複数の波長について測定することにより、波長と反射強度または反射率との関係を求める。
請求項（抜粋）：
連続した波長の1次X線を試料に照射し、試料に対する1次X線の入射角度を一定に保持した状態で試料からの反射X線の強度を複数の波長について測定することにより、波長と反射強度または反射率との関係を求めるX線反射率測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G21K 1/06 F
, G21K 3/00 W
