特許
J-GLOBAL ID：200903071567726363

切断装置及び切断方法

発明者：
斉藤 博

斉藤 博 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-060483
公開番号（公開出願番号）：特開2006-187862
出願日： 2006年03月07日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：
【課題】接着剤を付着させることを防止して切断をスムース、且つ、精度良く行うことができる切断装置及び切断方法を提供する。【解決手段】接着シートを半導体ウエハ毎に幅方向及び周方向に切断する切断装置であって、この切断装置は、先端にカッターが取り付けられたカッターユニットを含む。カッターユニットは、円弧状穴に沿って略鉛直面内で回転可能となる状態でブラケットに取り付けられており、前記カッター刃を傾斜姿勢にした状態で半導体ウエハの外周に沿って接着シートを切断するように構成されている。【選択図】図12
請求項（抜粋）：
被着体の外周からはみ出る大きさの接着シートを前記被着体に貼付した後に、前記接着シートを被着体の外周に沿って切断する切断装置において、 先端にカッターが取り付けられたカッターユニットを含み、このカッターユニットは、円弧状穴に沿って略鉛直面内で回転可能となる状態でブラケットに取り付けられて前記カッター刃の角度調整を行うことを特徴とする切断装置。
IPC (3件)：
B26D 3/10 ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/683
FI (3件)：
B26D3/10 B ,  H01L21/52 E ,  H01L21/68 N
Fターム (37件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA13 ,  5F031DA15 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA20 ,  5F031FA21 ,  5F031GA08 ,  5F031GA42 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA13 ,  5F031HA37 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031HA60 ,  5F031JA04 ,  5F031JA15 ,  5F031JA35 ,  5F031KA14 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031LA14 ,  5F031LA15 ,  5F031MA37 ,  5F031MA38 ,  5F031MA39 ,  5F047BA21 ,  5F047BB03
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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