特許
J-GLOBAL ID：200903071578074996
ダイコータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-020515
公開番号（公開出願番号）：特開2002-219399
出願日： 2001年01月29日
公開日（公表日）： 2002年08月06日
要約：
【要約】【課題】ペーストをサークル配管の中で滞留することなく流動させ、かつペースト温度を一定にし、スロットダイに最も近いところで、ペーストを供給するダイコータを提供する。【解決手段】スロットダイへのペースト供給が、ポンプやシリンジ等のペースト圧送機構を介したサークル配管からの分岐により行われ、かつ分岐は前記スロットダイに接した部分で実施される
請求項（抜粋）：
ペーストを供給するペースト供給タンクと、前記ペーストを圧送させるポンプと、前記ペースト供給タンクと前記ポンプとを接続し、前記ペーストを循環させるサークル配管と、前記ペーストを基板に塗布するスッロトダイコータと、前記スッロトダイコータの近傍に設置された第1の三方弁とを備え、 前記第1の三方弁の開閉を制御して、前記ペーストを前記サークル配管の中で滞留することなく流動させることを特徴とするダイコータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
4F041AA02
, 4F041AA06
, 4F041BA05
, 4F041BA32
, 4F041BA35
, 4F041CA02
, 4F041CA15
, 4F041CA17
, 4F042AA02
, 4F042AA07
, 4F042BA12
, 4F042BA15
, 4F042BA19
, 4F042CA01
, 4F042CA06
, 4F042DA09
