特許
J-GLOBAL ID：200903071640955511
窒化ガリウム結晶、窒化ガリウム結晶の結晶成長装置および窒化ガリウム結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鳥居 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-311110
公開番号（公開出願番号）：特開2007-119276
出願日： 2005年10月26日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】基準圧力よりも低い圧力下で窒化ガリウム結晶を結晶成長する結晶成長装置を提供する。【解決手段】結晶成長装置1000は、結晶育成装置100を備える。結晶育成装置100は、坩堝10と、反応容器20と、封止部材30,40と、加熱装置50と、ガス供給管60,80と、バルブ70と、流量計90と、ガスボンベ110と、排気管160とを含む。坩堝10は、反応容器20内に配置され、BiとGaとを含む混合融液220を保持する。封止部材30,40は、反応容器20を封止する。ガスボンベ110は、反応容器20内の圧力を略大気圧に保持して、アンモニアガスを流量計90、ガス供給管80,60およびバルブ70を介して坩堝10内の容器空間11へ供給する。加熱装置50は、坩堝10および反応容器20を900°Cに加熱し、排気管160は、反応容器20内のアンモニアガスを排気する。 【選択図】図1
請求項（抜粋）：
底部と、
前記底部の周囲に接し、前記底部に略垂直に配置された側壁部とを備える窒化ガリウム結晶。
IPC (4件)：
C30B 29/38
, C30B 29/66
, C30B 9/10
, C01B 21/06
C30B29/38 D
, C30B29/66
, C30B9/10
, C01B21/06 A
4G077AA02
, 4G077AA10
, 4G077CC04
, 4G077EA04
, 4G077EA06
, 4G077EG02
, 4G077FE11
, 4G077FJ01
