特許
J-GLOBAL ID：200903071776409545
石英ガラス部品及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-078344
公開番号（公開出願番号）：特開2004-002157
出願日： 2003年03月20日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：
【課題】石英ガラス部品をマイクロクラックや角張った表面を形成すること無く粗面化し、パーティクルの発生が少なく、成膜装置、熱処理装置、プラズマ装置などで室温から高温まで長期間連続使用が可能で、使用後、付着膜の除去が容易な石英ガラス部品及びその製造方法を提供する。【解決の手段】石英ガラス、セラミックス又は金属の基材面上に表面粗さRaが5〜100μmの石英溶射膜が形成されていることを特徴とする石英ガラス部品及びその製造方法を用いる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
基材面上に表面粗さRaが5〜100μmの石英溶射膜が形成されていることを特徴とする石英ガラス部品。
IPC (3件)：
C03B20/00
, C03C17/02
, H01L21/205
C03B20/00 K
, C03B20/00 A
, C03C17/02 Z
, H01L21/205
4G014AH00
, 4G059AA20
, 4G059AC01
, 4G059AC03
, 4G059CA00
, 4G059CB00
, 5F045BB08
, 5F045BB15
, 5F045EB03
, 5F045EC05
