特許
J-GLOBAL ID：200903071804747770
スパッタリングターゲット材の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
椎名 彊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-020951
公開番号（公開出願番号）：特開2006-206966
出願日： 2005年01月28日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：
【課題】 本発明は、高強度、均質な性能を持つスパッタリングターゲット材の製造方法を提供する。 【解決手段】 脆性相が存在する2元系合金において、脆性相が存在する2元系合金での純金属と合金粉末を混合するに当たり、2元系状態図より脆性相(金属間化合物)が生成しない領域を選択して純金属と固溶体の粉末を混合した後熱間加圧成形し、脆性相のない合金を製造するスパッタリングターゲット材の製造方法。さらに、脆性相が存在する2元系合金において、脆性相が存在する2元系合金での2種の合金粉末を混合するに当たり、2元系状態図より脆性相(金属間化合物)が生成しない領域での最大融点を持つ固溶体を形成する場合は、該最大融点を持つ固溶体を挟んで二つの固溶体粉末を混合した後、熱間加圧成形し合金化するスパッタリングターゲット材の製造方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
脆性相が存在する2元系合金において、脆性相が存在する2元系合金での純金属と合金粉末を混合するに当たり、2元系状態図より脆性相(金属間化合物)が生成しない領域を選択して純金属と固溶体の粉末を混合した後熱間加圧成形し、脆性相のない合金を製造することを特徴とするスパッタリングターゲット材の製造方法。
IPC (3件)：
B22F 1/00
, B22F 3/14
, B22F 3/15
B22F1/00 J
, B22F3/14 D
, B22F3/15 M
4K018AA10
, 4K018AA19
, 4K018AA25
, 4K018AA40
, 4K018BA04
, 4K018BA09
, 4K018BA13
, 4K018BA20
, 4K018BC12
, 4K018EA01
, 4K018EA11
, 4K018KA29
