特許
J-GLOBAL ID：200903071806168920

固体撮像素子およびその製造方法

発明者：
安海 貞二

安海 貞二 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について

, 
富士フイルムマイクロデバイス株式会社

富士フイルムマイクロデバイス株式会社 について


代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-433015
公開番号（公開出願番号）：特開2005-191396
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】 微細化に際しても更なる集光効率の向上をはかり、小型で信頼性の高い固体撮像素子を提供する。また、製造が容易で信頼性の高い固体撮像素子の製造方法を提供する。【解決手段】 光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部とを具備し、前記光電変換部の受光領域に開口を有する遮光膜で被覆した固体撮像素子であって、前記開口部が、柱状単層構造の高屈折率膜で覆われており、前記高屈折率膜の周りは、前記高屈折率膜よりも屈折率が低く、表面を平坦化された絶縁膜で被覆されていることを特徴とする。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部とを具備し、前記光電変換部の受光領域に開口を有する遮光膜で被覆した固体撮像素子であって、 前記開口部が、柱状単層構造の高屈折率膜で覆われており、前記高屈折率膜の周りは、前記高屈折率膜よりも屈折率が低く、表面を平坦化された絶縁膜で被覆されていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件)：
H01L27/14 ,  H01L27/148
FI (2件)：
H01L27/14 D ,  H01L27/14 B
Fターム (20件)：
4M118AA01 ,  4M118AA08 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA13 ,  4M118CA01 ,  4M118CA20 ,  4M118CA32 ,  4M118DA13 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118EA20 ,  4M118FA06 ,  4M118FA33 ,  4M118FA35 ,  4M118GA09 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD06
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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