負荷容量付き水晶振動子の測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-303995
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124809
出願日： 1999年10月26日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】負荷容量付き水晶振動子の測定冶具に浮遊容量が存在しても、ネットワーク・アナライザを用いて極めて高精度に諸特性を測定できる測定方法。【解決手段】 ?@測定系を4端子網の縦続接続した数式の解答式、α=Vr/Va =(K1+K2Zx+K3Zc+K4ZxZc)を用い?A水晶振動子部と負荷容量部とをショートし実測してK1 を求め?B水晶振動子部に一定既知量の抵抗をロードし負荷容量部をショートし実測してK2 を求め?C水晶振動子部をショートし負荷容量部に一定既知量の容量をロードし実測してK3 を求め?D水晶振動子部に一定既知量の抵抗をロードし負荷容量部に容量をロードし実測してK4 を求め?E水晶振動子部に測定する水晶振動子をロードし負荷容量部に容量をロードし実測してαを求め?F実測した値を上記の数式に代入して水晶振動子のインピーダンスZx を求める負荷容量付き水晶振動子の測定方法。

請求項（抜粋）：

DUTである負荷容量付き水晶振動子の諸特性をネットワーク・アナライザで測定する測定方法において、測定系を4端子網の縦続接続した数式の解答式、α=Vr/Va=(K1+K2Zx+K3Zc+K4ZxZc)...(式8)を用い、(a)水晶振動子部をショートしてZx=0とし、負荷容量部をショートしてZc=0とし、実測してK1を求め、(b)水晶振動子部に一定の既知量の抵抗をロードしてZx=ZLとし、負荷容量部をショーとしてZc=0とし、実測し演算してK2を求め、(c)水晶振動子部をショートしてZx=0 とし、負荷容量部に一定の既知量の容量(コンデンサ)をロードしてZc=Zcfとし、実測し演算してK3を求め、(d)水晶振動子部に一定の既知量の抵抗をロードしてZx=ZLとし、負荷容量部に一定の既知量の容量をロードしてZc=Zcf とし、実測し演算してK4 を求め、(e)水晶振動子部に測定する水晶振動子をロードしてZx=Zxとし、負荷容量部に一定の既知量の容量をロードしてZc=Zcfとし、実測してαを求め、(f)上記実測して求めたK1値、K2値、K3値、K4値、α値を上記の(式8)に代入し演算して水晶振動子のインピーダンスZx を求めることを特徴とする負荷容量付き水晶振動子の測定方法。

IPC (2件)：

G01R 29/22 , G01R 31/00

FI (2件)：

G01R 29/22 Z , G01R 31/00

Fターム (4件)：

2G036AA03 , 2G036BB20 , 2G036BB22 , 2G036CA12

引用特許：

審査官引用 (7件)

振動子の電気的等価素子定数の測定誤差補正方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-086571 出願人：日本ヒューレット・パッカード株式会社
残留容量を考慮した負荷容量特性測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-273086 出願人：株式会社アドバンテスト
自動キャリブレーション装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-012906 出願人：株式会社アドバンテスト

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