特許
J-GLOBAL ID：200903090678781317
X線回折装置及びX線ロッキングカーブの測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-104476
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292379
出願日： 1999年04月12日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 格子定数の精密測定法において2次元の位置敏感型のX線検出器を用いることにより、試料上の各位置におけるX線ロッキングカーブを一挙に得て、試料上の格子定数のエリアマップを短時間で測定する。【解決手段】 X線源10を出たX線は第1スリット20の開口部22を通過してから第1結晶12に当たる。第1結晶12で反射したX線は第2スリット24の開口部26を通過してから試料28に当たる。試料28で回折したX線は2次元の位置敏感型X線検出器30で検出される。試料28上の各位置からの回折X線は、X線検出器30上において別個の位置でそれぞれ検出される。X線検出器30の出力は記録装置で記録することができて、この記録装置により試料上の各位置におけるロッキングカーブを一挙に得ることができる。
請求項（抜粋）：
次の(イ)〜(ホ)を有するX線回折装置。(イ)X線源。(ロ)試料を保持するための試料ホルダーであって、試料の表面に平行なω軸の回りに回転可能な試料ホルダー。(ハ)前記X線源で発生したX線のうちの所望の波長のX線を反射する結晶コリメータであって、その反射X線を前記試料に照射するようにした結晶コリメータ。(ニ)前記試料からの回折X線を検出するための2次元の位置敏感型のX線検出器。(ホ)前記試料の前記ω軸の回りの所望の回転角度ピッチごとに、前記X線検出器の検出面の各位置におけるX線検出強度を同時に記録して、これによって前記検出面の各位置におけるロッキングカーブを得るようにした記録装置。
Fターム (25件)：
2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001BA26
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA09
, 2G001DA10
, 2G001EA01
, 2G001EA09
, 2G001FA08
, 2G001GA13
, 2G001HA12
, 2G001HA13
, 2G001HA15
, 2G001JA07
, 2G001JA11
, 2G001JA20
, 2G001KA08
, 2G001KA20
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001NA07
, 2G001NA15
, 2G001NA20
, 2G001SA02
