投影露光装置及び投影露光方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：桂木雄二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-256782
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085298
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】本発明は、瞳フィルタ法によりコンタクトホールなどの抜きパターンを露光する投影露光装置に関し、マスクリニアリティや近接効果による寸法差を良好に保ちつつ、解像力の向上を図る。【解決手段】投影光学系の瞳面に瞳フィルタを設ける投影露光装置において、瞳フィルタ5は、コンタクトホールパターンに対し、遮光半径RがNA比で0.6〜0.8、透過率が0.1〜5%であり、σが0.6〜0.9程度の通常照明で露光することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

投影光学系の瞳面に瞳フィルタを設ける投影露光装置において、前記瞳フィルタは、コンタクトホールパターンに対し、遮光半径がNA比で0.6〜0.8、透過率が0.1〜5%であり、σが0.6〜0.9程度の通常照明で露光することを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D , G03F 7/20 521

Fターム (4件)：

5F046BA04 , 5F046CB08 , 5F046CB25 , 5F046DA12

引用特許：

出願人引用 (5件)

投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-010794 出願人：株式会社ニコン
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-020190 出願人：株式会社ニコン
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-134007 出願人：株式会社ニコン

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審査官引用 (2件)

投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-010794 出願人：株式会社ニコン
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-020190 出願人：株式会社ニコン

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