特許
J-GLOBAL ID：200903072104587174

透明膜、光学部材及び透明膜の製造方法

発明者：
石黒 孝

石黒 孝 について

, 
松島 佳弘

松島 佳弘 について


出願人/特許権者：
国立大学法人長岡技術科学大学

国立大学法人長岡技術科学大学 について


代理人 (1件)： 日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-349646
公開番号（公開出願番号）：特開2007-156017
出願日： 2005年12月02日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】波長依存性が小さく幅広い波長の光の反射を抑制することができ、製造が容易な透明膜、この透明膜を備えた光学部材、及び透明膜の製造方法を提供する。【解決手段】純アルミニウムからなるターゲットを使用して、スパッタリングにより基体2上にアルミニウムの一部が窒化された窒素含有アルミニウム膜(Al-N膜)を形成する。Al-N膜は不透明な黒色である。次に、基体2及びAl-N膜を水中で煮沸する。これにより、Al-N膜は透明化し、透明膜3となる。透明膜3においては、連続膜である基部4と、この基部4上に形成されたモスアイ構造部5とが設けられている。モスアイ構造部5においては、複数の丸みを帯びた円錐形状の突起6が上方に向かって起立しており、突起6間は空気層となっている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
アルミニウムを含有するターゲットを使用し窒素を含有するガス中でスパッタリングを行うことにより基体上に成膜されアルミニウムの一部が窒化された窒素含有アルミニウム膜を水中で加熱することにより形成された透明膜。
IPC (2件)：
G02B 1/11 ,  G02F 1/133
FI (2件)：
G02B1/10 A ,  G02F1/1335
Fターム (15件)：
2H091FA37X ,  2H091FB06 ,  2H091FB08 ,  2H091FC02 ,  2H091FC22 ,  2H091FC28 ,  2H091FC29 ,  2H091FD24 ,  2H091LA12 ,  2H091LA20 ,  2K009AA02 ,  2K009AA12 ,  2K009CC03 ,  2K009CC09 ,  2K009DD04
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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