低雑音分光エリプソメータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉武賢次 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-502401
公開番号（公開出願番号）：特表2003-536064
出願日： 2001年06月08日
公開日（公表日）： 2003年12月02日
要約：

【要約】光ビームを放射する光源(1)と、光源から放射される光ビームの経路上に配置された偏光子(2)と、偏光子から出力された光ビームを受け取る試料支持体(9)と、解析されるべき試料によって反射されたビームを通過させる偏光検光子(3)と、検光子からのビームを受け取り、かつ、モノクロメータ(5)および光検出器(4)を備えた検出組立品と、検出組立品から出力された信号を処理し、かつ、計数装置(13)を含む信号処理手段(6)とを備えた分光エリプソメータである。冷却手段(12)が、周囲温度よりも低い温度に検出組立品を保持し、それによって、検出器雑音を最小限に抑制し、その結果として、常に、最小限の光子雑音状態下にある。あらゆる発生源(ランプ、検出器、周囲環境)からの雑音を最小限に抑制することによって、楕円偏光解析測定のための最適な条件が、得られることが分る。

請求項（抜粋）：

光ビームを放射する光源(1)と、前記光源から放射される光ビームの経路上に配置された偏光子(2)と、前記偏光子から出力された光ビームを受け取る試料支持体(9)と、解析されるべき試料によって反射されたビームを通過させる偏光検光子(3)と、前記検光子からのビームを受け取り、かつ、モノクロメータ(5)および光検出器(4)を備えた検出組立品と、前記検出組立品から出力された信号を処理し、かつ、計数装置(13)を含む信号処理手段(6)とを備えた分光エリプソメータであって、前記検出組立品を周囲温度よりも低い温度に保持する冷却手段(12)をさらに備えたことを特徴とするエリプソメータ。

IPC (4件)：

G01J 4/04 , G01N 21/21 , G01N 21/27 , G01N 21/33

FI (4件)：

G01J 4/04 A , G01N 21/21 Z , G01N 21/27 Z , G01N 21/33

Fターム (19件)：

2G059AA02 , 2G059BB00 , 2G059DD18 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059GG04 , 2G059GG10 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059HH04 , 2G059HH06 , 2G059JJ02 , 2G059JJ17 , 2G059JJ19 , 2G059KK01 , 2G059LL04 , 2G059NN01 , 2G059NN03 , 2G059NN09

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭62-266439
特開昭62-266439
血液ガス及び分析物の分析のためのラマン分光装置及び方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-529601 出願人：マサチユセツツ・インスチチユート・オブ・テクノロジー

全件表示

前のページに戻る