特許
J-GLOBAL ID：200903072298670603
投影露光装置、その組立方法及びその調整方法並びにそれを用いたデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-070691
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256142
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 被照射面であるレチクル面上のパターンを基板面上に高い投影露光性能で投影し露光することのできる投影露光装置、その組立方法及びその調整方法並びにそれを用いたデバイス製造方法を提供することにある。【解決手段】 投影光学系を収納している収納体5を被照射面3上のパターンの露光光軸A回り方向の所望の位置に回転させて保持固定するための保持手段6を備える構成とする。
請求項（抜粋）：
照明系からの光束により被照射面上のパターンを照明し、該パターンを投影光学系により基板面上に投影し露光する投影露光装置において、該投影光学系を収納している収納体と、該収納体をパターンの露光光軸回り方向の所望の位置に回転させて保持固定するための保持手段とを備えることを特徴とする投影露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 516 A
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 D
