特許
J-GLOBAL ID：200903072429764080
両面研摩装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-135652
公開番号（公開出願番号）：特開2000-326207
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：
【要約】【課題】 高品質な両面研摩を能率的、経済的に行う。【解決手段】 研摩装置本体110の近傍にブラシ収納部180及びドレッサ収納部190を設ける。ブラシ収納部180は、複数のブラシを収納しており、ドレッサ収納部190は、複数のドレッサを収納している。ブラシ及びドレッサは、研摩装置本体110の上下の回転定盤間でキャリアと同様に運動して、研摩装置本体110の上下の回転定盤の対向面に装着された研摩布の清掃及び面ならしをそれぞれ行う。研摩装置本体110に対してワーク400の授受を行うワーク搬送部170は、研摩装置本体110に対するブラシ及びドレッサの授受も行う。研摩布に対してブラシ及びドレッサによる頻繁な処理が能率的、経済的に行われ、研摩品質が向上する。
請求項（抜粋）：
研摩すべきワークを保持する複数のキャリアを、上下の回転定盤間で少なくとも自転させることにより、複数のキャリアに保持された複数のワークを同時に両面研摩する両面研摩装置において、複数のキャリアに代えて上下の回転定盤間に配置され、キャリアと同様に上下の回転定盤間で少なくとも自転することにより、上下の回転定盤の対向面に装着された研摩布を処理する複数の処理体を収納する収納部と、収納部から上下の回転定盤間に複数の処理体を供給し、使用後の処理体を上下の回転定盤間から排出する搬送部とを具備することを特徴とする両面研摩装置。
IPC (2件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 621
B24B 37/00 A
, H01L 21/304 621 A
3C058AA07
, 3C058AA18
, 3C058AA19
, 3C058AB01
, 3C058AB03
, 3C058AB08
, 3C058AC01
, 3C058AC04
, 3C058AC05
, 3C058CB01
, 3C058CB03
, 3C058DA06
, 3C058DA09
, 3C058DA17
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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