特許
J-GLOBAL ID：200903072529314597

減圧乾燥装置

発明者：
坂本 貴浩

坂本 貴浩 について

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坂井 光広

坂井 光広 について

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八尋 俊一

八尋 俊一 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-308945
公開番号（公開出願番号）：特開2008-124366
出願日： 2006年11月15日
公開日（公表日）： 2008年05月29日
要約：
【課題】被処理基板の搬入出を効率よく安全かつスムースに行い、しかも基板上の塗布膜に基板接触部の転写跡が付くのを最小限に抑えること。【解決手段】この減圧乾燥ユニット(VD)46は、減圧乾燥処理を受けるべき基板Gを搬入側コロ搬送路104aおよび内部コロ搬送路104b上のコロ搬送によってコロ搬送でチャンバ106の中に搬入し、チャンバ106内で減圧乾燥処理の済んだ基板Gを内部コロ搬送路104bおよび搬出側コロ搬送路104c上のコロ搬送によってチャンバ106の外へ搬出する。減圧乾燥処理中は、多数本のリフトピン128が基板Gを水平姿勢のままコロ搬送路104bから上方に持ち上げて極細のピン先部で支える。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
被処理基板上の塗布液に減圧状態で乾燥処理を施す減圧乾燥装置であって、 前記基板を略水平状態で収容するための空間を有する減圧可能なチャンバと、 前記乾燥処理のために前記チャンバ内を密閉状態で真空排気する第1の排気機構と、 前記チャンバの外と中で連続するコロ搬送路を有し、前記コロ搬送路上のコロ搬送で前記基板を前記チャンバに搬入出する搬送機構と、 前記基板をピン先端で略水平に支えて上げ下げするために前記チャンバの中に離散的に配置された多数のリフトピンを有し、前記乾燥処理を行うときは前記リフトピンの先端を前記コロ搬送路よりも高くして前記基板を支持し、前記基板の搬入出を行うときは前記リフトピンのピン先端を前記コロ搬送路よりも低くして前記搬送機構による前記基板のコロ搬送を可能とするリフト機構と を有する減圧乾燥装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  B05C 9/12 ,  B05C 13/02
FI (3件)：
H01L21/30 567 ,  B05C9/12 ,  B05C13/02
Fターム (8件)：
4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042BA06 ,  4F042BA18 ,  4F042DC00 ,  5F046JA22 ,  5F046KA07 ,  5F046KA10
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-357134   出願人：東京エレクトロン株式会社
審査官引用 (3件)
  • 処理方法及び処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-095408   出願人：大日本印刷株式会社
  • 基板冷却装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-302713   出願人：株式会社フューチャービジョン
  • 処理システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-048922   出願人：東京エレクトロン株式会社

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