基板ハンドリング設備

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀田実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-205257
公開番号（公開出願番号）：特開2002-019958
出願日： 2000年07月06日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】割れやすい大型基板であっても、基板を斜めに保持したままで、基板に衝撃を与えることなく、カセットからの取出し、移載、検査が確実にでき、かつ水平又は垂直に姿勢変更することができる基板ハンドリング設備を提供する。【解決手段】基板1を垂直に格納する垂直カセット5を傾斜させる傾斜装置12と、傾動した垂直カセットから基板を1枚づつ移載する移載ロボット14と、基板を斜めに保持して水平移動させる傾斜コンベア16と、傾斜コンベア上の基板を検査する検査装置18と、斜めに保持された基板を水平又は垂直に姿勢変更する姿勢変更装置20とを備える。

請求項（抜粋）：

基板(1)を垂直に格納する垂直カセット(5)を傾斜させる傾斜装置(12)と、傾動した垂直カセットから基板を1枚づつ移載する移載ロボット(14)と、基板を斜めに保持して水平移動させる傾斜コンベア(16)と、傾斜コンベア上の基板を検査する検査装置(18)と、斜めに保持された基板を水平又は垂直に姿勢変更する姿勢変更装置(20)と、を備えたことを特徴とする基板ハンドリング設備。

IPC (2件)：

B65G 49/06 , H01L 21/68

FI (2件)：

B65G 49/06 A , H01L 21/68 A

Fターム (8件)：

5F031CA05 , 5F031DA01 , 5F031DA17 , 5F031GA15 , 5F031GA53 , 5F031MA23 , 5F031MA33 , 5F031PA20

引用特許：

審査官引用 (5件)

板状体の移送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-338674 出願人：セントラル硝子株式会社
基板搬送用ハンド
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-178216 出願人：石川島播磨重工業株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-349495 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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