ビーム走査形検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-296246
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118537
出願日： 1999年10月19日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、上記問題を解決し精度良くパターン等の測長を行うことができるビーム走査形検査装置を提供することにある。【解決手段】本発明では、上記目的を達成するために、ビームの焦点を段階的に変更する手段と、当該手段によって変更された焦点毎に試料像を記憶する記憶媒体と、当該記憶媒体に記憶された試料像を重畳して試料像を形成する手段を備えたビーム走査形検査装置を提供する。

請求項（抜粋）：

試料上にビームを走査して得られた信号に基づいて試料像を形成するビーム走査形検査装置において、前記ビームの焦点を段階的に変更する手段と、当該手段によって変更された焦点毎に試料像を記憶する記憶媒体と、当該記憶媒体に記憶された試料像を重畳して試料像を形成する手段を備えたことを特徴とするビーム走査形検査装置。

IPC (2件)：

H01J 37/21 , H01J 37/22 502

FI (2件)：

H01J 37/21 B , H01J 37/22 502 H

Fターム (1件)：

5C033MM05

引用特許：

出願人引用 (9件)

測長機能を備えた走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-159967 出願人：株式会社日立製作所
走査形顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-186550 出願人：株式会社日立製作所
電子線装置および走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-106405 出願人：株式会社日立製作所

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審査官引用 (9件)

測長機能を備えた走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-159967 出願人：株式会社日立製作所
走査形顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-186550 出願人：株式会社日立製作所
電子線装置および走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-106405 出願人：株式会社日立製作所

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