特許
J-GLOBAL ID：200903072765042778

静電チャック装置

発明者：
森田 直年

森田 直年 について


出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社

日本特殊陶業株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 和久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-220786
公開番号（公開出願番号）：特開2008-047657
出願日： 2006年08月12日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：
【目的】 静電チャックの裏面のチャック側端子が、処理装置側の相手側端子に接合される際において、両端子間に平面的な位置ずれがあっても、チャック側端子に過大な曲げモーメントが発生するのを防ぐ。【構成】 チャック側端子31を、静電チャック1aの裏面4に接合された基端部材32と、その基端部材32の先端35に接合された先端部材36とで形成した。基端部材32の先端35をプラグ端子32bとし、先端部材36の基端をソケット端子37として両端子を嵌合して接合した。ソケット端子37とプラグ端子32bの内外周面間に、弾性変形可能の金属製中継接合部材61を介在させ、これの変形によって先端部材36を基端部材32に対して偏心又は傾斜可能に接合した。先端部材36は、ソケット端子37の外周面のネジ38により、ベース部材21の貫通孔26内に固定された絶縁部材51の内周面のねじ56に螺合した。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
セラミック基板に静電電極が形成されてなる静電チャックと、この静電チャックの裏面に接合された金属製ベース部材とを含んでなる静電チャック装置であって、前記静電チャックの裏面から突出状に形成されたチャック側端子が、前記金属製ベース部材に形成された貫通孔内に絶縁を保持して配置されてなるものにおいて、 前記チャック側端子を、前記静電チャックの裏面に基端が接合された基端部材と、その基端部材の先端に接合された先端部材とで形成し、しかも、前記基端部材の先端と前記先端部材の基端のいずれか一方をソケット端子とすると共に他方をプラグ端子として両端子を嵌合して接合する端子構造とし、 前記ソケット端子と前記プラグ端子の内外周面間に、弾性変形可能の金属製中継接合部材を介在させ、この金属製中継接合部材の変形によって前記先端部材を前記基端部材に対して偏心及び傾斜の少なくともいずれかを可能に接合してなることを特徴とする静電チャック装置。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/265 ,  H02N 13/00
FI (3件)：
H01L21/68 R ,  H01L21/265 603D ,  H02N13/00 D
Fターム (5件)：
5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA19 ,  5F031HA37 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-159746   出願人：日本特殊陶業株式会社
  • 静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-185112   出願人：京セラ株式会社
審査官引用 (3件)

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