静電吸着装置及び試料処理装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029515
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233602
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】本発明は、静電吸着装置の電極に電圧を印加する電気端子部の信頼性を高くする。【解決手段】導電性材料からなる第一の電極に第二の電極を配置するための凹部を設け、この凹部に貫通穴を設ける。貫通穴に第一の電極と電気的に絶縁しつつ電気端子を埋設し、この電気端子と電気的に接続するように第二の電極を設け、第一、第二の電極の表面に溶射により誘電膜を形成する。

請求項（抜粋）：

導電性材料からなる第一の電極に第二の電極を配置するための凹部を設け、該凹部の少なくとも1カ所に貫通穴を設け、該貫通穴に前記第一の電極と電気的に絶縁しつつ電気端子を埋設し、前記凹部に前記電気端子と電気的に接続するように前記第二の電極を設け、前記第一の電極と前記第二の電極の表面に溶射による誘電膜を形成し、前記第一の電極と前記第二の電極間に電位差を印加して前記誘電膜上に配置した被吸着物を静電気的に吸着可能としたことを特徴とする静電吸着装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15

FI (2件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D

引用特許：

審査官引用 (5件)

静電吸着電極およびその製作方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-247537 出願人：株式会社日立製作所
静電チヤツク装置の電気的接合方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-284123 出願人：株式会社巴川製紙所, 株式会社東芝
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-042014 出願人：株式会社創造科学, 有限会社ミヤタアールアンディ

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