特許
J-GLOBAL ID：200903072784822857
システムの状態および性能を監視し、診断するシステムおよび方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
稲葉 良幸
, 大賀 眞司
, 大貫 敏史
, 浅村 皓
, 浅村 肇
, 森 徹
, 吉田 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-179029
公開番号（公開出願番号）：特開2007-019497
出願日： 2006年06月29日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：
【課題】最終製品で欠陥が検出される前に、リソグレフィ装置のシステム低下についてリアルタイムでツールの性能を監視かつ/または診断するシステムおよび方法を提供する。【解決手段】キー性能指標および診断データセットに基づいて監視される要素を含む階層データ構造であって、システム階層200はシステム動作中に実行されるプロセスシーケンス202を有し、複数のプロセスステップ210-218からなる。階層の上位レベルは主要なシステム機能を表し、副機能は主要なシステム機能導出し下位レベルに配置する。階層キー性能指標001KPI-039KPIはシステム機能を能動的に監視し、診断データセット280-286はシステム機能を受動的に監視し、データ分析器がシステム偏差の根本原因を識別できるようにする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
リソグラフィ機械の性能を監視するシステムであって、
要素を含む階層データ構造と、
前記要素と関連して、対応する要素の性能の尺度を提供する複数の性能指標と、
1つ以上の感知デバイスから得られる生データを含む診断データセットで、対応する要素と関連する診断データセットと、
診断データセットから導出され、所定の基準値を含むキー性能指標で、前記感知デバイスからの測定値が前記所定の基準値から偏差している場合に、リソグラフィ機械の性能の変動を信号で通信するキー性能指標と、を備えているシステム。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, H01L 21/02
, H01L 21/66
, G03F 7/20
H01L21/30 502G
, H01L21/02 Z
, H01L21/66 Z
, G03F7/20 521
4M106AA01
, 4M106BA20
, 4M106CA50
, 4M106DB04
, 4M106DJ20
, 4M106DJ23
, 4M106DJ27
, 4M106DJ38
, 5F046AA28
, 5F046DA04
, 5F046DA30
, 5F046DD06
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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