特許
J-GLOBAL ID：200903072805003827
可変容量コンデンサを有する装置、とりわけ高周波マイクロスイッチ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
矢野 敏雄
, 山崎 利臣
, 久野 琢也
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-554911
公開番号（公開出願番号）：特表2004-516778
出願日： 2001年12月13日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：
共面導波体の部材のインピーダンスを変化するための可変容量C(U)コンデンサ(200)を有する装置が提案され、この装置はとりわけ高周波マイクロスイッチとして使用される。ここではアース線路(110,111)と、少なくとも一部の領域で片持ちされた導電接続部(121)により遮断された信号線路(120)とを有し、前記コンデンサ(200)は導電接続部(121)と、アース線路(110,111)と接続された別の導電接続部(130)とを含む。さらに導電接続部(121)と接続された構造体(150)が設けられている。この構造体は、導電接続部(121)に発生する機械的応力を低減するように構成されている。提案された装置の別の構成では、導電接続部(121)は、シリコンに類似の熱膨張係数を有し、金属に対して高い弾性係数を有する材料、とりわけモリブデン、タンタル、またはタングステンからなる。2つの実施形態は有利には組み合わされる。
請求項（抜粋）：
共面導波体の部材のインピーダンスを変化するための可変容量コンデンサを有する装置、とりわけ高周波マイクロスイッチであって、アース線路(110,111)と、少なくとも一部の領域で片持ちされた導電接続部(121)により遮断された信号線路(120)とを有し、
前記コンデンサ(200)は導電接続部(121)と、アース線路(110,111)と接続された別の導電接続部(130)とを少なくとも部分的に含む形式のものにおいて、
前記導電接続部(121)と接続された少なくとも1つの構造体(150)が設けられており、
該構造体は、導電接続部(121)に発生する機械的応力を低減するように構成されている、
ことを特徴とする装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
