特許
J-GLOBAL ID：200903072901993102

表面欠陥検査装置、表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査プログラム

発明者：
鎌田 照己

鎌田 照己 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-025755
公開番号（公開出願番号）：特開2007-205926
出願日： 2006年02月02日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：
【課題】一次元撮像手段により一次元撮像手段と検査対象物の相対的な距離の変動を検出することで、高い精度で検査対象物の欠陥を検出する。【解決手段】回転する検査対象物に対して、副走査方向の斜め方向に輝度が異ならせた縞の入ったパターン光を照射するライン光源と、照射されたパターン光の検査対象物から反射した光により、検査対象物に対して主走査方向で一次元の撮像を行うラインセンサと、撮像されたライン画像の輝度の位相の変化を検出する位相検出部と、位相の変化から検査対象物とラインセンサの相対的な距離を一定に保つためにラインセンサの位置を制御する撮像位置制御部と、を備える。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
時間の経過に従って検査対象となる検査位置を変更させる検査移動を行う検査対象物の該検査位置に対して、該検査移動方向に輝度又は色彩が変化したパターン光を照射する照明手段と、 前記照明手段により照射された前記パターン光の前記検査位置から反射した光を、前記検査移動方向と交差する方向で一次元の撮像を行う一次元撮像手段と、 前記一次元撮像手段により撮像された一次元画像から輝度又は色彩の変化を検出する変化検出手段と、 前記検査対象物又は前記一次元撮像手段を移動させる移動手段に対して、前記変化検出手段により検出された前記輝度又は色彩の変化に基づいて、前記検査対象物の前記検査位置と前記一次元撮像手段との間の距離を一定に保持するように制御を行う距離制御手段と、 を備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/30 ,  G01N 21/952 ,  G01B 11/00
FI (3件)：
G01B11/30 A ,  G01N21/952 ,  G01B11/00 H
Fターム (32件)：
2F065AA01 ,  2F065AA09 ,  2F065AA17 ,  2F065AA20 ,  2F065AA49 ,  2F065BB06 ,  2F065BB16 ,  2F065FF41 ,  2F065GG16 ,  2F065HH07 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL30 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065PP02 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CD07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EA17 ,  2G051EC02
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (10件)
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