結晶粒変化の動的観察方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-128619
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321224
出願日： 1999年05月10日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】本発明は、加熱中、冷却中および等温保持中の少なくとも1つの状態中において、高温観察時に問題となる試料表面の酸化や形態変化を回避でき、さらに薄膜化せずバルクままの試料を観察でき、さらにミクロ組織観察に好適な100 倍程度から10万倍程度の観察倍率において結晶粒の動的変化やミクロ組織の変化を鮮明に観察する方法を与える。【解決手段】集束イオンビームを照射された試料からの2次電子像あるいは反射電子像による、加熱中、冷却中及び等温保持中の少なくとも1つの状態中での結晶粒変化の動的観察方法を与える。

請求項（抜粋）：

集束イオンビームを照射された試料からの2次電子像あるいは反射電子像による、加熱中、冷却中及び等温保持中の少なくとも1つの状態中での結晶粒変化の動的観察方法。

IPC (2件)：

G01N 23/225 , H01J 37/252

FI (2件)：

G01N 23/225 , H01J 37/252 B

Fターム (22件)：

2G001AA03 , 2G001AA05 , 2G001BA07 , 2G001BA15 , 2G001CA03 , 2G001DA02 , 2G001DA06 , 2G001GA06 , 2G001GA17 , 2G001JA01 , 2G001JA14 , 2G001KA08 , 2G001KA20 , 2G001LA02 , 2G001PA07 , 2G001QA01 , 2G001RA03 , 2G001RA20 , 5C033QQ05 , 5C033QQ10 , 5C033UU03 , 5C033UU06

引用特許：

審査官引用 (9件)

金属結晶粒の連続的移動の観察方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-029817 出願人：日本電気株式会社
半導体観察用ホルダー装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-294988 出願人：日本電気株式会社
特開平2-216041

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