特許
J-GLOBAL ID：200903072989255980

基板処理装置

発明者：
柴山 宣之

柴山 宣之 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-283344
公開番号（公開出願番号）：特開2002-355625
出願日： 2001年09月18日
公開日（公表日）： 2002年12月10日
要約：
【要約】【課題】 容易に超音波振動素子の異常を検出することができる基板処理装置を提供することである。【解決手段】 複数のPZT素子5は、高周波発振器7から高周波ケーブル6を介して与えられる高周波電力に応じて超音波振動を発生する。発生された超音波振動は、石英槽4、伝播水3および処理槽1を介して処理槽1内部の洗浄液2に伝達され、基板100が洗浄される。複数のPZT素子5の高周波電力を測定する高周波電力計14は、電力の測定値をパソコン13に与える。パソコン13は、電力の測定値に基づき、複数のPZT素子5のいずれかが故障しているか否か判定し、判定結果に応じて警報出力信号および故障しているPZT素子5を特定する特定信号を警報出力装置12に送信する。警報出力装置12は、パソコン13から与えられた警報出力信号および特定信号に応じて警報を出力する。
請求項（抜粋）：
基板に処理を行う基板処理装置であって、基板に処理液を用いて基板に処理を行う処理部と、高周波電力を発生する電力発生手段と、前記電力発生手段に並列に接続され、前記処理部に用いられる処理液に超音波振動を付与する複数の超音波振動素子と、前記複数の超音波振動素子に生じる電気的要素をそれぞれ検出する検出手段と、前記検出手段により検出された電気的要素に基づいて前記複数の超音波振動素子のいずれかの異常の有無を判定する判定手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
B08B 3/12 ,  B06B 1/06 ,  H01L 21/304 642
FI (3件)：
B08B 3/12 Z ,  B06B 1/06 A ,  H01L 21/304 642 E
Fターム (14件)：
3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201BB02 ,  3B201BB85 ,  3B201BB92 ,  3B201CD42 ,  3B201CD43 ,  5D107AA15 ,  5D107BB11 ,  5D107CC02 ,  5D107CC12 ,  5D107CD06 ,  5D107CD07 ,  5D107FF08
引用特許：
審査官引用 (5件)
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