低歪みの磁気配向にするための薄膜処理用電磁石

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺昇
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-551056
公開番号（公開出願番号）：特表2002-516922
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2002年06月11日
要約：

【要約】基材上の薄膜を低歪みで磁気配向する。【解決手段】板状コアに巻かれた1以上のコイルを有する電磁石は、基材に凝着された磁性膜を配向するために、基材の表面に単一軸の磁界を形成する。板状コアにおける磁性質量の変化又はコア質量における磁気透過性の変化がなされ、これにより、単一軸の磁界の歪みを減じ均一性を改善する。上記変化は、コアの周面(56)に比べてコアの中心(64)近傍での磁性質量ないしは磁気透過性の低減を含んでいる。この目的のために、磁気軸に関して対称をなす種々の大きさ、形状の空洞をコアに形成することができる。凹部(60,62)、冷媒通路(70)、プラグ(72)、対角をなす通路(74)、表側の面(52)、切欠(58)が設けられている。

請求項（抜粋）：

基材上の磁性材料層の低歪み磁気配向を得るための、薄膜処理用電磁石であって、磁気透過性材料を含み、周面によって結合された表側の面と裏側の面とを有する板状コアと、上記板状コアの領域に巻かれて少なくとも1つの電磁コイルを形成する導電性巻き線とを備え、上記電磁コイルは、基材の磁性材料層を配向するために、板状コアの表側の面近傍に実質的に単一軸の磁界を発生させるものであり、上記板状コアの磁気透過性材料は有効磁性質量を有し、上記基材表面の全域にわたって板状コアの表側の面近傍での実質的に単一軸の磁界の歪み角度を低減させるように、上記有効磁性質量は、導電性巻き線によって巻かれた領域において板状コアの中心から周面に向かって変化していることを特徴とする薄膜処理用電磁石。

IPC (3件)：

C23C 14/35 , H01F 3/02 , H01F 7/06

FI (3件)：

C23C 14/35 E , H01F 3/02 , H01F 7/06 Z

Fターム (4件)：

4K029DC41 , 4K029DC42 , 5E048AB09 , 5E048CA09

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭60-173819
特開昭63-093881
特開平3-020700

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