電子線を用いたパターン検査方法及びその装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-226181
公開番号（公開出願番号）：特開2002-042712
出願日： 2000年07月21日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：

【要約】【課題】電子線を照射し、その二次電子などを検出する検出系では高速で検出するには検出器の面積が重要なファクタである。現在の電子光学系、検出器の技術では一定以上の面積の検出器が必要で、面積に逆比例する周波数で制約を受け、200Msps以上の検出は実質的に困難である。【解決手段】例えば必要面積4mm角、4mm角時の速度を150Mspsとして400Mspsで検出するには、単体の高速な2mm角の検出器を4個並べ、それらを増幅後、加算してA/D変換する。又は、二次電子偏向器で順次8mm角の検出器に二次電子を入射させ、100Mspsで検出、A/D変換後並べる。いずれも、4mm角の面積と400Mspsの速度を達成可能である。

請求項（抜粋）：

対象物基板に荷電粒子を照射し、発生する二次電子、反射電子、透過電子の何れかを複数のセンサ又は分割センサを用いて検出、A/D変換し、各センサで得られたデジタル信号を交互に並べることでセンサ単体の速度より高速なディジタル画像を取得、取得したディジタル画像を元に欠陥を検査する事を特徴とするパターン検査方法。

IPC (9件)：

H01J 37/244 , G01N 23/04 , G01N 23/20 , G01N 23/225 , G02F 1/13 101 , G06T 1/00 305 , H01J 37/22 502 , H01J 37/22 , H01J 37/28

FI (9件)：

H01J 37/244 , G01N 23/04 , G01N 23/20 , G01N 23/225 , G02F 1/13 101 , G06T 1/00 305 A , H01J 37/22 502 H , H01J 37/22 502 A , H01J 37/28 B

Fターム (37件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001BA11 , 2G001BA15 , 2G001DA02 , 2G001DA06 , 2G001EA04 , 2G001FA01 , 2G001FA06 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001GA13 , 2G001HA01 , 2G001HA07 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001JA03 , 2G001JA16 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2H088FA11 , 2H088FA30 , 2H088HA06 , 2H088MA20 , 5B057AA03 , 5B057BA29 , 5B057DA03 , 5C033NN01 , 5C033NN02 , 5C033NN03 , 5C033NP06 , 5C033NP08 , 5C033UU04 , 5C033UU05 , 5C033UU06

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平1-115043
特開平4-105010
ウェーハパターンの欠陥検出方法及び同装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-041346 出願人：株式会社東芝

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審査官引用 (6件)

電子ビーム検査装置およびその方法ならびに荷電粒子線応用装置およびその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-056508 出願人：株式会社日立製作所
電子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-097233 出願人：日本電子株式会社, 日本電子システムテクノロジー株式会社
特開平4-105010

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