ポンププローブ測定装置及びそれを用いた走査プローブ顕微鏡装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：平山一幸 , 篠田哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-322662
公開番号（公開出願番号）：特開2008-139028
出願日： 2006年11月29日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：

【課題】ポンププローブ測定装置とこの測定装置を利用した走査プローブ顕微鏡装置を提供する。【解決手段】ポンププローブ測定装置1は、ポンプ光となる第1の超短光パルス列及びプローブ光となる第2の超短光パルス列を発生させる超短光パルスレーザー発生部11と、超短光パルス列の遅延時間を調整する遅延時間調整部15と、第1及び第2の超短光パルス列のそれぞれを入射させて任意の繰り返し周波数で1パルスを透過させて光パルスの実効的な繰り返し周波数を低減させる第1及び第2のパルスピッカー13,14と、パルスピッカーから通過させるパルスの選択箇所を周期的に変更する遅延時間変調部10と、ポンプ光及びプローブ光を試料19に照射する照射光学系16と、試料からのプローブ信号を検出する測定部20と、ロックイン検出部18と、を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ポンプ光となる第1の超短光パルス列及びプローブ光となる第2の超短光パルス列を発生させる超短光パルスレーザー発生部と、上記第1及び第2の超短光パルス列の遅延時間を調整する遅延時間調整部と、上記第1及び第2の超短光パルス列のそれぞれを入射させて任意の繰り返し周波数で1パルスを透過させることにより光パルスの実効的な繰り返し周波数を低減させる第1及び第2のパルスピッカーと、上記パルスピッカーにより通過させる光パルスの選択箇所を周期的に変更する遅延時間変調部と、上記ポンプ光及びプローブ光を試料に照射する照射光学系を有し、該試料からのプローブ信号を検出する測定部と、上記試料からのプローブ信号を上記遅延時間変調部における変調周波数で位相敏感検出するロックイン検出部と、を備え、上記第1又は第2のパルスピッカーが、透過させる光パルスの選択箇所を変更することにより第2又は第1のパルスピッカーを透過した光パルスとの間の遅延時間を変調させることを特徴とする、ポンププローブ測定装置。

IPC (4件)：

G01N 21/27 , G01N 13/12 , G01B 7/00 , G01N 21/39

FI (4件)：

G01N21/27 E , G01N13/12 A , G01B7/00 101Z , G01N21/39

Fターム (18件)：

2F063AA02 , 2F063EA16 , 2F063FA07 , 2G059BB10 , 2G059BB16 , 2G059FF03 , 2G059GG01 , 2G059GG08 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ18 , 2G059JJ19 , 2G059JJ22 , 2G059JJ23 , 2G059KK01 , 2G059KK02

引用特許：

審査官引用 (2件)

パルスピッカー
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-036532 出願人：浜松ホトニクス株式会社
改良された光応力発生器及び検出器
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-526852 出願人：ブラウンユニバーシティーリサーチファウンデーション

引用文献：

審査官引用 (2件)

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