超音波検査装置、超音波トランスデューサ、検査装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須山佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-348282
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149213
出願日： 2001年11月14日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】手軽で、手早く検査ができ、高解像度化が可能な超音波検査装置、超音波トランスデューサ、検査装置を提供すること。【解決手段】超音波トランスデューサを構成する圧電体にチタン酸バリウム(BaTiO3)またはジルコン酸チタン酸鉛(PZT)を用い、厚さを0.1μmないし100μmとする。圧電体層のうち任意のものを駆動可能な駆動部と、駆動された圧電体層が発する超音波による照射対象からのエコーにより複数の圧電体層が発生する電気信号を検出する検出部と、検出された電気信号から照射対象の状態を可視化する処理を行なう処理部とを具備する。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成された共通電極と、前記共通電極上にマトリクス状に独立して複数形成された圧電体層と、前記圧電体層上にそれぞれ形成された複数の上部電極とを有する超音波トランスデューサと、前記上部電極に接続され、前記上部電極から前記圧電体層のうち任意のものを駆動可能な駆動部と、前記上部電極に接続され、前記駆動された圧電体層が発する超音波による照射対象からのエコーにより前記複数の圧電体層が発生する電気信号を前記複数の上部電極から検出する検出部と、前記検出された電気信号から前記照射対象の状態を可視化する処理を行なう処理部とを具備し、前記超音波トランスデューサの前記圧電体層は、チタン酸バリウムまたはジルコン酸チタン酸鉛を有し、かつ、厚さが0.1μmないし100μmであることを特徴とする超音波検査装置。

IPC (6件)：

G01N 29/06 , B06B 1/06 , G01N 29/00 501 , G01N 29/24 502 , H04R 1/34 330 , H04R 1/34

FI (6件)：

G01N 29/06 , B06B 1/06 A , G01N 29/00 501 , G01N 29/24 502 , H04R 1/34 330 B , H04R 1/34 330 Z

Fターム (16件)：

2G047AA08 , 2G047AB07 , 2G047AC10 , 2G047BA03 , 2G047BB04 , 2G047CA01 , 2G047CA04 , 2G047EA01 , 2G047GB02 , 2G047GB17 , 5D019FF04 , 5D107BB09 , 5D107CC01 , 5D107CC12 , 5D107CC13 , 5D107FF03

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-232425
超音波トランスデューサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-208898 出願人：オリンパス光学工業株式会社
欠陥検出装置及び欠陥検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-074378 出願人：積水化学工業株式会社

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