特許
J-GLOBAL ID：200903073462599938
ウェーハ研磨装置及びウェーハ製造方法
出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社
三菱マテリアル株式会社 について
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-135019
公開番号（公開出願番号）：特開2000-326218
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：
【要約】【課題】 複数のウェーハの研磨を同時に安定して行うことができるウェーハ研磨装置及びウェーハ製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】 カルーセル2に設置された複数のスピンドル1は、第1、第2ベアリング3、7によって回転自在に支持された軸本体1aを備えており、軸本体1a下部にはウェーハ保持ヘッドと連結されるスピンドル側連結部4が設けられている。第2ベアリング7を支持しているベアリング支持部5の外周には位置調整用おねじ部6が形成されており、カルーセル2に設けられた位置調整用めねじ部13と螺合されるようになっている。調整ハンドル8によって、ハンドル支持部9とこれに固定されたベアリング支持部5とを回転させることにより、軸本体1aはベアリング支持部5とともに軸線方向に移動されるようになっている。
請求項（抜粋）：
表面に研磨パッドが貼付されたプラテンと、研磨すべきウェーハを保持して前記研磨パッドにウェーハの一面を当接させるウェーハ保持ヘッドとを具備し、このウェーハ保持ヘッドと前記プラテンとの相対運動により前記研磨パッドで前記ウェーハを研磨するウェーハ研磨装置であって、前記ウェーハ保持ヘッドの上部に連結されるとともにこのウェーハ保持ヘッドを水平回転自在に支持するスピンドルと、前記スピンドルを係合させるための筒状係合部を有するスピンドルハウジングが複数設けられたカルーセルとを備え、前記スピンドルには、前記カルーセルとの相対的位置を変化させることによって前記ウェーハ保持ヘッドの軸線方向の位置を調整するための調整機構が備えられたことを特徴とするウェーハ研磨装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AB04
, 3C058AB08
, 3C058BA07
, 3C058BB03
, 3C058BC02
, 3C058CB03
, 3C058DA17
引用特許：
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