薄膜光電変換装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-305532
公開番号（公開出願番号）：特開2001-127316
出願日： 1999年10月27日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】薄膜光電変換ユニットと裏面透明導電膜との界面抵抗を下げることにより、光電変換特性が改善された薄膜光電変換装置を提供する。【解決手段】基板(1)上に、透明導電膜(2)、pin接合を有する薄膜光電変換ユニット(3)、裏面透明導電膜(41)、裏面金属電極(42)を順次形成した薄膜光電変換装置であって、前記薄膜光電変換ユニット(3)を構成するn型層(33)が不純物としてリンを原子比で2〜8%含有するシリコンからなり、前記裏面透明導電膜(41)がAlを1〜5wt%含有するZnOからなる。

請求項（抜粋）：

基板上に、透明導電膜、pin接合を有する薄膜光電変換ユニット、裏面透明導電膜、裏面金属電極を順次形成した薄膜光電変換装置において、前記薄膜光電変換ユニットを構成するn型層が不純物としてリンを原子比で2〜8%含有するシリコンからなり、前記裏面透明導電膜がAlを1〜5wt%含有するZnOからなることを特徴とする薄膜光電変換装置。

Fターム (4件)：

5F051AA05 , 5F051DA04 , 5F051FA02 , 5F051FA24

引用特許：

審査官引用 (9件)

薄膜太陽電池
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-242509 出願人：鐘淵化学工業株式会社
薄膜太陽電池
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-182214 出願人：鐘淵化学工業株式会社, 旭硝子株式会社
光起電力素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-107046 出願人：キヤノン株式会社

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