角速度センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-142854
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329561
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】薄型な角速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】シリコン基板1と、このシリコン基板1上の周囲の少なくとも一部に設けられたシリコン酸化物層2と、このシリコン酸化物層2の上に設けられたシリコン層からなる支持部3a,3b,3c,3dと、前記シリコン基板1の表面から離間したシリコン層からなる四角形状の重り部4と、前記重り部4と前記支持部3a,3b,3c,3dとが連接され、X軸方向とY軸方向へ変位可能なシリコン層からなる支持梁5a,5b,5c,5dと、前記重り部4をX軸方向へ駆動するための駆動手段としての第1の固定電極部7a,7b及び第1の可動電極部8a,8bと、コリオリ力による前記重り部4のY軸方向への変位を検出する検出手段としての第2の固定電極部11a,11b及び第2の可動電極部12a,12bとを備えるものである。

請求項（抜粋）：

シリコン基板と、このシリコン基板上の周囲の少なくとも一部に設けられたシリコン酸化物層と、このシリコン酸化物層の上に設けられたシリコン層からなる支持部と、前記シリコン基板の表面から離間したシリコン層からなる重り部と、前記重り部と前記支持部とが連接され、X軸方向とY軸方向へ変位可能なシリコン層からなる支持梁と、前記重り部をX軸方向へ駆動するための駆動手段と、コリオリ力による前記重り部のY軸方向への変位を検出する検出手段とを備えた角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Fターム (8件)：

2F105AA02 , 2F105BB13 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD07 , 2F105CD11 , 2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (7件)

静電容量型外力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-024314 出願人：株式会社村田製作所
複合センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-159047 出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
特開平4-242114

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