薄膜圧電共振器およびフィルタ回路

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：吉武賢次 , 橘谷英俊 , 佐藤泰和 , 吉元弘 , 川崎康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-379490
公開番号（公開出願番号）：特開2007-181087
出願日： 2005年12月28日
公開日（公表日）： 2007年07月12日
要約：

【課題】簡易な構造で共振周波数を高くすることが可能な薄膜圧電共振器を提供する。【解決手段】基板1の中央部に矩形状の凹部2が形成され、この凹部2上に圧電膜3が形成される。圧電膜3は、円盤部4と、支持部5とを有する。円盤部4と支持部5は一体に形成されている。圧電膜3の上には上部電極6が形成され、圧電膜3の下には下部電極7が形成される。上部電極6は、それぞれ等しい幅を持ち同じ間隔で配置される同心状の複数の円環部8と、これら円環部8を相互に接続するバスバー9とを有する。下部電極7は、圧電膜3の裏面全体に形成されている。幅と間隔が等しい同心状の複数の円環部8を有する上部電極6を備えるため、共振時のQ値を高くでき、面積も削減でき、共振周波数の精度も高くでき、高周波動作も可能な薄膜圧電共振器を実現できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に空間を介して形成され、少なくとも一箇所で基板に支持される圧電膜と、前記圧電膜の上に形成され、それぞれ等しい幅を持ち、前記幅と同じ間隔で配置される複数の電極層と、これら電極層を相互に接続する連結部と、を有する上部電極と、前記圧電膜の下に形成される下部電極と、前記基板上に形成され、前記上部電極に電気的に接続される第1パッドと、前記基板上に形成され、前記下部電極に電気的に接続される第2パッドと、を備えることを特徴とする薄膜圧電共振器。

IPC (3件)：

H03H 9/17 , H03H 9/02 , H03H 9/58

FI (5件)：

H03H9/17 F , H03H9/17 C , H03H9/02 J , H03H9/02 L , H03H9/58 A

Fターム (12件)：

5J108AA07 , 5J108BB01 , 5J108CC02 , 5J108DD06 , 5J108EE03 , 5J108EE07 , 5J108EE12 , 5J108FF02 , 5J108FF06 , 5J108NA01 , 5J108NB01 , 5J108NB06

引用特許：

出願人引用 (1件)

幅拡がりモードを利用した振動体、共振子及び共振部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-074942 出願人：株式会社村田製作所

審査官引用 (6件)

構成素子
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-610122 出願人：インフィネオンテクノロジースアクチエンゲゼルシャフト, ノキアモービルフォーンズリミテッド
バルク波デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-092461 出願人：三洋電機株式会社
特開平3-096005

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