特許

J-GLOBAL ID：200903074048938360

静電チャックとその製造方法

発明者： 村松 滋子 ,  青沼 伸一朗
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096712
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252353
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 極めて均一な静電吸着を可能とし得る静電チャックを提供する。【解決手段】 粒界成分が酸化イットリウムアルミニウム相のAlN焼結体からなる誘電層プレート1とベース用プレート5が電極3を介在しAlNと酸化イットリウムアルミニウムを主成分とする接合剤層7によって接合され、誘電層プレートの吸着面1aの平面度が20μm以下で、上記吸着面と電極の間隔の最大値と最小値の差が50μm以下である。

請求項（抜粋）：

粒界成分が酸化イットリウムアルミニウム相のAlN焼結体からなる誘電層プレートとベースプレートが電極を介在しAlNと酸化イットリウムアルミニウムを主成分とする接合剤層によって接合され、誘電層プレートの吸着面の平面度が20μm以下で、上記吸着面と電極の間隔の最大値と最小値の差が50μm以下であることを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 35/581 ,  H02N 13/00

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D ,  C04B 35/58 104 D

Fターム (18件)：

3C016GA10 ,  4G001BA01 ,  4G001BA09 ,  4G001BA36 ,  4G001BB09 ,  4G001BB36 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BC72 ,  4G001BC73 ,  4G001BD23 ,  4G001BE26 ,  4G001BE35 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-302184   出願人：株式会社神戸製鋼所, 神鋼コベルコツール株式会社, アプライドマテリアルズジャパン株式会社
• 金属部材内蔵セラミックス部材の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-063148   出願人：日本碍子株式会社
• ウエハ保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-035004   出願人：京セラ株式会社
• 窒化アルミニウム質基材の接合体の製造方法およびこれに使用する接合助剤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-239133   出願人：日本碍子株式会社