特許
J-GLOBAL ID：200903074145965550
二酸化珪素ナノラミネートの蒸着
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 永坂 友康
, 西山 雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-580596
公開番号（公開出願番号）：特表2005-521792
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：
本発明は、固体基板上に薄フィルムを蒸着させるための材料及び方法に関する。アルミニウム含有化合物とシラノールとの反応により、加熱した基板上にシリカ/アルミナナノラミネートを蒸着させる。このナノラミネートは厚みが均一であり、40:1を超えたアスペクト比を有する穴を覆うことができる。このフィルムは透明であり、絶縁性に優れている。本発明はまた、マイクロエレクトロニックデバイス中の電気導体の絶縁に用いられる改良された多孔質誘電材料を製造するための材料及び方法にも関し、特に表面多孔性が大きく低下されると同時に内部多孔性が望ましいk値を維持するように保たれる半多孔背いつ誘電材料を製造するための材料及び方法に関する。本発明は低k誘電材料によりせまい溝を選択的に埋めるとともに、この溝の外部の表面領域に誘電材料が付着することを防ぐために用いられる。
請求項（抜粋）：
ルイス酸特性を有する金属または半金属化合物を含有する領域を含む加熱された基板をシラノール蒸気にさらして、基板の酸性領域上に2nmを超える厚さを有するシリカ層を形成することを含む、基板上にシリカ層を形成する方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
4K030AA11
, 4K030BA42
, 4K030BA43
, 4K030BA44
, 4K030CA04
, 4K030FA10
, 4K030HA01
, 4K030JA01
, 4K030JA06
, 4K030LA15
, 5F058BA20
, 5F058BC02
, 5F058BC04
, 5F058BD04
, 5F058BD06
, 5F058BF02
, 5F058BF06
, 5F058BF27
, 5F058BF37
, 5F058BJ02
