特許
J-GLOBAL ID：200903015690621781

薄膜磁気ヘッド素材研磨装置および研磨用冶具ならびにスライダの製造方法

発明者：
小林 正

小林 正 について


出願人/特許権者：
ティーディーケイ株式会社

ティーディーケイ株式会社 について


代理人 (1件)： 星宮 勝美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-005053
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198819
出願日： 2000年01月13日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：
【要約】【課題】 スライダ部分が複数列に配列された薄膜磁気ヘッド素材を用いて媒体対向面の加工を行う場合において、媒体対向面の加工の精度を向上させる。【解決手段】 研磨装置は、それぞれ薄膜磁気ヘッド素子を含むスライダとなる部分が複数列に配列された薄膜磁気ヘッド素材であるブロック20における媒体対向面となる面とは反対側の面の研磨を行う。研磨用治具30は、定盤3の上において、複数のブロック20を一括して保持する。研磨装置は、基準位置として基準ベース13の上面の位置を検出する基準位置センサ11と、研磨によって変化するブロック20の厚みに対応した位置として研磨用治具30の上面の位置を検出するブロック厚みセンサ12とを備えている。研磨装置は、センサ11,12を用いて、ブロック20の研磨量を認識し、この研磨量が所定の値になるように研磨を制御する。
請求項（抜粋）：
それぞれ薄膜磁気ヘッド素子を含むスライダとなる部分が複数列に配列された薄膜磁気ヘッド素材における媒体対向面となる面とは反対側の面の研磨を行う研磨手段と、前記素材における媒体対向面となる面とは反対側の面が前記研磨手段によって研磨されるように、前記素材を保持する研磨用治具とを備えたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド素材研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 49/04 ,  B24B 41/06
FI (2件)：
B24B 49/04 Z ,  B24B 41/06 Z
Fターム (7件)：
3C034AA08 ,  3C034BB71 ,  3C034BB91 ,  3C034CA02 ,  3C034CB01 ,  3C034CB11 ,  3C034DD20
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (4件)
  • 磁気ヘッドの製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-129104   出願人：ヤマハ株式会社
  • 自動研磨加工装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-306333   出願人：三菱電機株式会社
  • 特開平3-170265
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