エキシマレーザーによる透明部材の加工方法およびその加工品

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-280025
公開番号（公開出願番号）：特開2002-087834
出願日： 2000年09月14日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】エキシマレーザーを用いて透明部材内部への可視形状の微細加工をガラス上部より直接照射して行うことができるエキシマレーザーによる透明部材の加工方法およびその加工品を提供する。【解決手段】エキシマレーザー12の焦点位置を横方向でかつ上方に移動すると、それに対応して微小な変質部分11Bの位置をa→b→cへと移動させることができる。また、1mm厚若しくはそれ以上の石英ガラス11に対して、エキシマレーザー12のエネルギーを1パルス当たり0.25J/cm2 から1.2J/cm2 に変化させて石英ガラス11上部より照射する。このとき、焦点はガラス内部11Aに合わせておく(d位置)。次に、エキシマレーザー12のエネルギーが0.25J/cm2 になると、板厚の1/2近傍にてガラスに微小な変質部分11Cが入り(e位置)、エネルギーを増加させるにつれて、微小な変質部分の位置が表面に近づく。なお、ガラスの最上層への微小な変質部分の形成は、1.2J/cm2 となる。

請求項（抜粋）：

エキシマレーザーの所定の照射エネルギーを透明部材に照射して、前記透明部材内に微小な変質部分を生じさせ、前記透明部材内に可視形状を形成することを特徴とするエキシマレーザーによる透明部材の加工方法。

IPC (10件)：

C03B 20/00 , B23K 26/00 , C03C 23/00 , G02B 1/02 , G02B 3/00 , G02B 5/18 , G02B 5/32 , G03H 1/04 , H01S 3/00 , H01S 3/225

FI (11件)：

C03B 20/00 Z , B23K 26/00 G , B23K 26/00 N , C03C 23/00 Z , G02B 1/02 , G02B 3/00 Z , G02B 5/18 , G02B 5/32 , G03H 1/04 , H01S 3/00 B , H01S 3/223 E

Fターム (29件)：

2H049AA02 , 2H049AA12 , 2H049AA33 , 2H049AA43 , 2H049AA45 , 2H049AA60 , 2H049CA05 , 2H049CA22 , 2H049CA28 , 2K008BB03 , 2K008DD02 , 2K008DD22 , 2K008EE07 , 2K008HH01 , 4E068CA02 , 4E068CA03 , 4E068CA11 , 4E068DB13 , 4G014AH08 , 4G014AH23 , 4G059AA01 , 4G059AA13 , 4G059AB05 , 4G059AC30 , 5F071AA06 , 5F071JJ10 , 5F072AA06 , 5F072SS06 , 5F072YY06

引用特許：

審査官引用 (5件)

ファイバグレーティングの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-228995 出願人：古河電気工業株式会社
光学素子を含む物品及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-103350 出願人：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー
光導波路及びその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-007533 出願人：科学技術振興事業団, 三浦清貴

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