特許
J-GLOBAL ID：200903074374364870
探針評価法および走査形プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-014813
公開番号（公開出願番号）：特開2001-208669
出願日： 2000年01月24日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：
【要約】【課題】 探針形状を正確に測定できる探針評価法および走査形プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】 まず、探針7の先端が、突部Sの角の横あたりに位置決めされる。そして、スキャナ制御手段11は、探針7を、突部Sの中心軸oを中心として半径Δxで回転させるための制御信号を回転信号発生手段21に送る。この結果、探針7は、前記中心軸oを中心として半径Δxで回転する。探針7は、突部Sとの間にトンネル電流が流れるように突部Sに接近しているので、この探針回転時には、常に探針7と突部S間にトンネル電流が流れている。中央制御手段10は、トンネル電流検出手段16からのトンネル電流信号を探針7の回転位置に対応させて記憶し、表示制御手段13は、その記憶されたデータに基づき、探針形状を表すトンネル電流変化ループを表示手段17の画面上に表示させる。
請求項（抜粋）：
突部を有する標準試料を用意し、その標準試料と探針間にバイアス電圧を印加した状態で、前記探針を前記突部のまわりに回転させ、その時に探針と突部間に流れるトンネル電流に基づいて探針形状を求めて、探針を評価するようにしたことを特徴とする探針評価法。
引用特許：
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