特許
J-GLOBAL ID：200903074400341922
プラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-310352
公開番号（公開出願番号）：特開平10-070108
出願日： 1996年11月21日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：
【要約】【課題】 プラズマ発生容器の筒状側壁を誘電体とし、且つ、電子の過度な加速を抑えて大口径領域に均一に高密度なプラズマを発生させることが出来るプラズマ発生装置を提供すること。【解決手段】 プラズマ発生容器1の石英からなる筒状側壁16の近傍に、複数の棒状のアンテナ4をプラズマ発生容器1の軸方向と平行となる様に、且つ、それぞれ隣り合う棒状のアンテナ4同士が、それぞれ接地された上側アンテナ保持部3a又は下側アンテナ保持部3bの一方に、交互に保持される様に配置し、同一のアンテナ保持部に保持されたアンテナの少なくとも一本以上に同位相で高周波電力を供給する。
請求項（抜粋）：
プラズマ発生時に内部を真空にされるプラズマ発生容器と、プラズマを発生させるためのアンテナと、該アンテナに高周波電力を供給するための高周波電源とを有するプラズマ発生装置において、前記アンテナは、複数の棒状アンテナからなり、前記複数の棒状アンテナは、実質的に平行に並べられており、該実質的に平行に並べられた前記複数の棒状アンテナにおいて、互いに隣り合う棒状アンテナには、それぞれ逆相の高周波電力が供給されていることにより、100MHz以上の高周波の周波数をアンテナに印加することが出来、エネルギーの高い電子の過度の発生が抑制されたプラズマ発生装置。
IPC (6件)：
H01L 21/3065
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/31
, H05H 1/46
H01L 21/302 B
, C23C 16/50
, C23F 4/00 A
, H01L 21/205
, H01L 21/31 C
, H05H 1/46 A
, H05H 1/46 B
