特許
J-GLOBAL ID：200903074458017890
搬送装置、基板搬入搬出装置、基板処理装置及びこれらに使用する治具
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-328777
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163084
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 キャリアに対して搬送装置がアクセスする際のアームの位置ズレを正確かつ短時間で効率的に解消するとともに、オペレータの負担を低減すること。【解決手段】 キャリアCの所定の収納位置に、所定形状の検出ピン120が形成されたセンタリング治具100をセットする。そして、センシング治具200を設置された搬送装置のアーム31が、キャリアCの1段目よりキャリア内に進入する。センシング治具200には、投光部231を備える光センサと、投光部241を備える光センサが設けられており、これらの光軸は互いに略直交するように構成されている。そして、アーム31を上昇させて2つの光センサが検出ピン120を検出する状態とする。そして、Y軸,X軸,Z軸のそれぞれについてアーム31を移動させて各光センサより位置情報を取得し、当該位置情報に基づいてアームの位置ズレを解消する。
請求項（抜粋）：
収納容器に対してアームによって被搬送物の収納又は取り出しを行う搬送装置であって、(a) 前記収納容器の所定位置に第1の治具が設置され、かつ、前記アームに第2の治具を保持させた状態で、前記第1の治具に対して前記第2の治具を所定の相対的位置関係になるまで近接させ、当該近接状態において前記アームをそれぞれ異なる複数の方向に移動させることによって、前記複数の方向のそれぞれについて前記第1の治具を検出して位置情報として取得する制御手段と、(b) 前記位置情報に基づいて、前記アームが前記収納容器に対して被搬送物の収納又は取り出しを行う際の基準位置を設定する設定手段と、を備えることを特徴とする搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25B 11/00
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B25B 11/00
, B65G 49/07 C
