特許
J-GLOBAL ID：200903074616038981
荷電粒子線露光装置における補正器の最適化方法及び荷電粒子線露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-225797
公開番号（公開出願番号）：特開2000-058450
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：
【要約】【課題】非点補正器、焦点補正器の位置が最適化されていない。【解決手段】荷電粒子線露光装置に配置され複数の収差を補正するための複数の補正器を最適化する方法であって、前記複数の補正器の各々がその位置に応じて前記複数の収差の各々に与える影響を定義するステップと、前記複数の補正器を前記複数の収差のうち特定の収差の補正が最適化される位置に配置するステップとを有する方法。
請求項（抜粋）：
荷電粒子線露光装置に配置され複数の収差を補正するための複数の補正器を最適化する方法であって、前記複数の補正器の各々がその位置に応じて前記複数の収差の各々に与える影響を定義するステップと、前記複数の補正器を前記複数の収差のうち特定の収差の補正が最適化される位置に配置するステップと、を有する方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
H01L 21/30 541 V
, G03F 7/20 504
