特許
J-GLOBAL ID：200903074722853112
光走査装置、光書き込み装置及び画像形成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
鈴木 誠
, 大浦 一仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-273671
公開番号（公開出願番号）：特開2004-109651
出願日： 2002年09月19日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：
【課題】捻り梁を捻り回転軸としてミラーを往復振動させる光走査装置において、ミラーの振動空間の封止及びミラー駆動のための電気的接続の構造を改良する。【解決手段】フレーム39、捻り梁32、ミラー33が一体的に形成された導電性材料からなるミラー基板34の各面に、透明な絶縁性材料からなるカバー基板31と、絶縁材料からなるベース基板35をそれぞれ接合することにより、ミラー33の振動空間を気密に封止する。ベース基板35に設けられた貫通電極36はミラー基板34のフレーム39の所定部位に接触する。ミラー33は静電力により駆動されるが、そのための駆動電圧は貫通電極36を介して外部より印加することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
フレームと、捻り梁と、この捻り梁によって前記フレームに支持されたミラーとが一体的に形成された導電性材料からなるミラー基板と、
前記ミラー基板の第1の面に接合された、透明な絶縁性材料からなるなるカバー基板と、
前記ミラー基板の前記第1の面と反対側の第2の面に接合された、絶縁性材料からなるベース基板とを有し、
前記カバー基板と前記ベース基板とにより前記ミラーの振動空間が気密に封止され、
前記ベース基板は、それを貫通し、かつ、前記ミラー基板のフレームに接触する複数の貫通電極を有し、
前記貫通電極を通じて外部より前記ミラーを駆動するための電圧を印加可能としてなる光走査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B26/10 104Z
, B41J3/00 D
2C362BA17
, 2C362BA42
, 2C362BA48
, 2C362BA49
, 2H045AB06
, 2H045AB08
, 2H045AB16
, 2H045AB26
, 2H045AB38
, 2H045AB44
, 2H045AB73
