特許
J-GLOBAL ID：200903075199847061

スパッタリング方法

発明者：
堀下 芳邦

堀下 芳邦 について

, 
松原 忍

松原 忍 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (1件)： 特許業務法人青莪
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-137089
公開番号（公開出願番号）：特開2009-280890
出願日： 2008年05月26日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
【課題】 複数枚のターゲットを並設し、この並設したターゲットに、複数台のバイポーラパルス電源を介してバイポーラパルス状に電力投入してスパッタリング法を実施する際に、簡単な制御でスイッチングノイズの影響を受け難くしてターゲットに精度よく投入電力できるようにする。【解決手段】 対をなすターゲット毎に、直流電力供給源からの正負の直流出力端に接続したブリッジ回路52の各スイッチング素子SW1乃至SW4のオン、オフを切換えてバイポーラパルス状に電力供給し、各ターゲットをスパッタリングするスパッタリング方法において、前記直流電力供給源からの正負の直流出力間に設けた出力短絡用スイッチング素子SW0の短絡状態で前記スイッチング素子のオン、オフの切換えを行うと共に、出力短絡用スイッチング素子の切換えのタイミングをブリッジ回路毎に相互にずらす。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
スパッタ室内で処理基板と対向させかつ所定の間隔を置いて並設した複数枚のターゲットのうち対をなすターゲット毎に、直流電力供給源からの正負の直流出力端に接続したブリッジ回路の各スイッチング素子のオン、オフを切換えてバイポーラパルス状に電力供給し、各ターゲットをアノード電極、カソード電極に交互に切換え、アノード電極及びカソード電極間にグロー放電を生じさせてプラズマ雰囲気を形成し、各ターゲットをスパッタリングするスパッタリング方法において、 前記直流電力供給源からの正負の直流出力間に設けた出力短絡用スイッチング素子の短絡状態で前記スイッチング素子のオン、オフの切換えを行うと共に、出力短絡用スイッチング素子の切換えタイミングをずらすことを特徴とするスパッタリング方法。
IPC (2件)：
C23C 14/34 ,  H01L 21/285
FI (3件)：
C23C14/34 C ,  C23C14/34 U ,  H01L21/285 S
Fターム (21件)：
4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA03 ,  4K029BA11 ,  4K029BA17 ,  4K029BA21 ,  4K029BA45 ,  4K029BA47 ,  4K029BA50 ,  4K029DC16 ,  4K029DC34 ,  4K029EA00 ,  4K029EA06 ,  4K029EA09 ,  4M104AA10 ,  4M104BB02 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB36 ,  4M104DD37 ,  4M104DD39
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM