微小突起物検査装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋浩三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-128287
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022415
出願日： 2001年04月25日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【目的】高精度で、かつ高速に微小突起物の高さ検査を行えるようにする。【構成】投光光学系手段は、光ビームを被検査試料の表面が合焦点位置となるように照射し、被検査試料表面に形成されるビームスポットが検査領域を所定の周期で直線的に往復走査するように偏向する。検出光学系手段は、被検査試料表面から反射する光ビームから互いに異なる領域が遮蔽された2本の半円状の光ビームを生成し、これを第1及び第2の光学センサ手段で別々に受光し、その検出信号に基づいて高さ情報を求める。このように2系統の光学センサ手段からの検出信号に基づいて高さ情報を求めている関係上、検出精度が向上し、投光光学系手段を構成する各光学素子の熱変動や偏向器時の偏向誤差によって、スポット走査ズレ(Δt)が発生したとしても、その影響を受けることなく高精度な高さ測定を行うことができる。

請求項（抜粋）：

光ビームを被検査試料の表面が合焦点位置となるように照射すると共に前記被検査試料上の所定の検査領域を所定の周期で直線的に往復走査するように偏向させる投光光学系手段と、前記往復走査する光ビームの光軸が描く直線を直径とする半円状の光ビームであって、互いに異なる領域が遮蔽された2本の光ビームを、前記被検査試料の表面から反射した前記光ビームから生成して結像する検出光学系手段と、前記検出光学系手段で生成された前記2本の光ビームの一方に対応して設けられ、前記半円状の光ビームの直径が境界となるように少なくとも2分割された受光領域を有し、それぞれの受光領域に対応した検出信号を出力する第1の光学センサ手段と、前記検出光学系手段で生成された前記2本の光ビームの他方に対応して設けられ、前記半円状の光ビームの直径が境界となるように少なくとも2分割された受光領域を有し、それぞれの受光領域に対応した検出信号を出力する第2の光学センサ手段と、前記被検査試料を搭載するステージ手段と、前記ステージ手段と、前記投光光学系手段及び前記検出光学系手段とを相対的に移動させる駆動手段と、前記駆動手段を制御すると共に前記光学センサ手段から出力される前記検出信号に基づいて前記被検査試料に形成された微小突起物の高さ情報を算出する制御手段とを備えたことを特徴とする微小突起物検査装置。

IPC (6件)：

G01B 11/02 , G01B 11/00 , G01N 21/956 , G02F 1/13 101 , H01L 21/60 , H01L 21/66

FI (7件)：

G01B 11/02 Z , G01B 11/00 A , G01B 11/00 D , G01N 21/956 B , G02F 1/13 101 , H01L 21/66 J , H01L 21/92 604

Fターム (51件)：

2F065AA01 , 2F065AA17 , 2F065AA24 , 2F065BB03 , 2F065CC19 , 2F065CC26 , 2F065FF01 , 2F065FF10 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065HH09 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065JJ17 , 2F065LL04 , 2F065LL14 , 2F065LL28 , 2F065LL33 , 2F065LL36 , 2F065LL57 , 2F065PP12 , 2F065PP22 , 2F065QQ31 , 2F065RR06 , 2F065UU07 , 2G051AA61 , 2G051AB02 , 2G051BA10 , 2G051CA01 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051DA07 , 2G051DA08 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2H088FA02 , 2H088FA11 , 2H088FA18 , 2H088FA30 , 4M106AA01 , 4M106AA11 , 4M106BA05 , 4M106CA38 , 4M106CA50 , 4M106DB02 , 4M106DB08 , 4M106DB11 , 4M106DB13 , 4M106DB14 , 4M106DJ03

引用特許：

審査官引用 (4件)

試料変位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-060192 出願人：理化学研究所, オリンパス光学工業株式会社
非接触三次元測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-161099 出願人：株式会社ミツトヨ
高さ検査方法、それを実施する高さ検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-203539 出願人：富士通株式会社

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