枚葉式塗工装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：土井育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-251072
公開番号（公開出願番号）：特開2003-053249
出願日： 2001年08月22日
公開日（公表日）： 2003年02月25日
要約：

【要約】【課題】塗布膜厚の精度が良好で、塗布開始時の膜厚不安定領域を最小限に抑えることができ、また塗布面の段ムラ発生を防止でき、しかも生産性の向上を図るようにする。【解決手段】基板Bを載置するためのテーブル12がベース部11の上に一軸方向にスライド移動可能に設置され、そのテーブル12を跨ぐようにして立設したフレーム13に沿って塗工部14が上下移動可能に取り付けられており、テーブル12の駆動部にリニアモータを使用し、スライド部にエアスライダを使用する。リニアモータの特性により塗布開始部の膜厚安定性及び塗布時の走行安定性が高まり、塗布膜厚の精度が良好となる上に塗布開始時の膜厚不安定領域を最小限に抑えることができ、エアスライダによる振動抑制作用により塗布面の段ムラ発生を防止でき、しかも高速動作が可能であるために塗布後の原点復帰が速くなることから生産性の向上を図ることができる。

請求項（抜粋）：

塗布対象としての基板を載置するためのテーブルがベース部の上に一軸方向にスライド移動可能に設置され、そのテーブルを跨ぐようにして立設したフレームに沿って塗工部が上下移動可能に取り付けられており、テーブルの駆動部にリニアモータを使用し、スライド部にエアスライダを使用したことを特徴とする枚葉式塗工装置。

IPC (2件)：

B05C 13/00 , B05C 5/00 101

FI (2件)：

B05C 13/00 , B05C 5/00 101

Fターム (6件)：

4F041AA02 , 4F041BA21 , 4F042AA02 , 4F042DF00 , 4F042DF25 , 4F042DF31

引用特許：

審査官引用 (12件)

流体塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-154409 出願人：平田機工株式会社, シプレイ・ファーイースト株式会社
枚葉塗工方法及び枚葉塗工装置、カラーフィルタの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-333712 出願人：キヤノン株式会社
特開平3-044593

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