特許
J-GLOBAL ID：200903075306878234

固体撮像装置およびその製造方法、電子情報機器

発明者：
土田 卓洋

土田 卓洋 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  大塩 竹志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-324943
公開番号（公開出願番号）：特開2008-140942
出願日： 2006年11月30日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：
【課題】カラーフィルタとオンチップマイクロレンズが不要で、高感度、高解像度かつシェーディングが発生しない固体撮像装置を、画素部間の性能ばらつきなく製造する。【解決手段】固体撮像装置1は、半導体基板3の深さ方向に積層された各受光部21〜23を有する固体撮像素子である各画素部2が半導体基板3の平面に沿った方向に周期的に複数配置されており、入射光のうち、半導体基板材料における光吸収係数の波長依存性により各受光部の深さに対応した波長域の電磁波が各受光部21〜23で検出されて信号電荷が生成される。各画素部2は画素分離拡散層4によって個々に電気的に分離されている。各受光部21〜23から信号電荷を転送する転送路を構成する配線層71〜73、必要個数のトランジスタ5が、半導体基板3の電磁波入射側とは反対側表面に設けられる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体基板の所定領域全面に複数回のイオン注入を行って、深さ方向に積層される複数の不純物拡散層を複数の受光部として形成する受光部形成工程と、 該所定領域に、各画素部の間を分離する画素分離用の不純物拡散層を形成する画素分離部形成工程と、 該複数の受光部からの信号電荷をそれぞれ転送するための各転送路を、該複数の受光部に電磁波が入射される入射面側とは反対面側に形成する転送路形成工程とを有する固体撮像装置の製造方法。
IPC (2件)：
H01L 27/146 ,  H01L 31/10
FI (2件)：
H01L27/14 A ,  H01L31/10 A
Fターム (26件)：
4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA03 ,  4M118CA25 ,  4M118CA27 ,  4M118CA32 ,  4M118FA06 ,  4M118FA33 ,  4M118GA02 ,  5F049MA02 ,  5F049MB02 ,  5F049NA01 ,  5F049NA04 ,  5F049NA17 ,  5F049NA18 ,  5F049NB05 ,  5F049PA10 ,  5F049QA06 ,  5F049RA03 ,  5F049RA08 ,  5F049SS03 ,  5F049SZ06 ,  5F049WA03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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