特許

J-GLOBAL ID：200903075511873741

プローブカードの固定機構

発明者： 米沢 俊裕
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-158533
公開番号（公開出願番号）：特開2004-205487
出願日： 2003年06月03日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】ウエハWの高温検査を行なう場合には、プローブカード5はホルダー8の内周縁部に固定されているため、プローブカード5は径方向外側へ伸びず、図5の(a)に矢印で示すように径方向内側へ伸びて下方へ湾曲する。また、ホルダー8は外周縁部がヘッドプレート7に固定されているため、ホルダー8は矢印で示すように径方向内側へ伸び、プローブカード5を更に下方へ湾曲させる。この結果、プローブピン5Aが垂直下方に変位し、電極パッド及びその下地層を傷つけ、検査不良を招くという課題があった。【解決手段】本発明のプローブカード固定機構10は、プローブカード11と支持体12とをそれぞれの軸心の近傍で複数の第1締結部材16Aを介して連結する共に支持体12の外周縁部とホルダー13とを複数の第2締結部材16Bを介して連結、固定し、プローブカード11の外周縁部をフリーにしたことを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検査体と電気的に接触するプローブカードを支持する支持体と、この支持体を外周縁部で保持する保持体とを備えたプローブカードの固定機構において、上記プローブカードと上記支持体とを重ね且つこれら両者をそれぞれの軸心の近傍で複数の第1締結部材を介して連結する共に上記支持体の外周縁部と上記保持体とを複数の第2締結部材を介して連結、固定したことを特徴とするプローブカードの固定機構。

IPC (2件)：

G01R1/073 ,  H01L21/66

FI (2件)：

G01R1/073 E ,  H01L21/66 B

Fターム (12件)：

2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AB06 ,  2G011AC00 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD06 ,  4M106DD10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-254243   出願人：日本電子材料株式会社
• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-218312   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-218112   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-263142   出願人：株式会社日本マイクロニクス