特許
J-GLOBAL ID：200903075618302682

エキシマUVランプ装置用大型合成石英ガラス板

発明者：
大嶋 隆之

大嶋 隆之 について

, 
西村 裕幸

西村 裕幸 について

, 
藤ノ木 朗

藤ノ木 朗 について


出願人/特許権者：
信越石英株式会社

信越石英株式会社 について


代理人 (4件)： 武田 正彦 ,  滝口 昌司 ,  中里 浩一 ,  川崎 仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-218120
公開番号（公開出願番号）：特開2007-031217
出願日： 2005年07月28日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：
【課題】エキシマUVランプ装置用窓材として用いたとき、全面にわたって光の取り出し効率が良く、均等であり、かつ長時間の使用後でもかかる良好な性質を維持しうるエキシマUVランプ装置用大型合成石英ガラス板を提供する。【解決手段】高純度の珪素化合物を原料とし、火炎加水分解法によって合成される合成石英ガラスからなり、波長150〜250nmの真空紫外光を放出するエキシマUVランプ装置用合成石英ガラス板において、該合成石英ガラス板の外周の全長が1500mm以上、厚さの変動幅が1mm以下、そりが0.5%以下、表面粗さRaが50nm以下、複屈折が10nm/cm以下、長径1mm以上の泡を含まず、仮想温度が800°C以上1200°C以下であるエキシマUVランプ装置用大型合成石英ガラス板。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
高純度の珪素化合物を原料とし、火炎加水分解法によって合成される合成石英ガラスからなり、波長150〜250nmの真空紫外光を放出するエキシマUVランプ装置用合成石英ガラス板において、該合成石英ガラス板の外周の全長が1500mm以上、厚さの変動幅が1mm以下、そりが0.5%以下、表面粗さRaが50nm以下、複屈折が10nm/cm以下、長径1mm以上の泡を含まず、仮想温度が800°C以上1200°C以下であることを特徴とするエキシマUVランプ装置用大型合成石英ガラス板。
IPC (5件)：
C03B 20/00 ,  C03B 8/04 ,  G02B 1/00 ,  C03C 3/06 ,  C03B 23/203
FI (6件)：
C03B20/00 G ,  C03B8/04 R ,  C03B20/00 F ,  G02B1/00 ,  C03C3/06 ,  C03B23/203
Fターム (58件)：
4G014AH11 ,  4G062AA03 ,  4G062BB02 ,  4G062CC07 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE02 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ06 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM23 ,  4G062NN01 ,  4G062NN16
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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