基板をコーティングする装置および方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-585001
公開番号（公開出願番号）：特表2002-531243
出願日： 1999年11月11日
公開日（公表日）： 2002年09月24日
要約：

【要約】モジュール式コーティング装置は、最初に所望の厚さを有する薄膜を付着させる押出しヘッド(104)を使用する。薄膜が付着する基板を回転して、薄膜をさらに分散させることができる。基板をマスクするシム(301)を使用する実施形態、および基板および/またはチャックのクリーニングを容易にするため回転式チャック(551)を使用する実施形態など、コーティング装置の種々の実施形態が開示される。所望に応じて、主モジュール(100)内で副モジュールを交換することができる。

請求項（抜粋）：

基板上に所望の特性を有するコーティングを提供する装置であって、基板の押出しコーティングを可能にする十分な動作を提供する可動押出しヘッド装着装置を備え、前記押出しヘッド装着装置が、前記押出しヘッドの片持ち式支持を提供し、さらに前記基板を保持するようになっているチャックを備え、前記チャックが、所定の厚さを有するコーティング材料の薄膜を前記基板上に押し出せるよう、前記片持ち式押出しヘッドから所定の距離に前記基板を提供する装置。

IPC (7件)：

B05C 5/02 , B05C 11/08 , B05D 1/26 , B05D 1/32 , B05D 1/40 , G03F 7/16 501 , H01L 21/027

FI (7件)：

B05C 5/02 , B05C 11/08 , B05D 1/26 Z , B05D 1/32 B , B05D 1/40 A , G03F 7/16 501 , H01L 21/30 564 Z

Fターム (36件)：

2H025AB16 , 2H025EA04 , 2H025EA05 , 4D075AC01 , 4D075AC65 , 4D075AD05 , 4D075BB20Z , 4D075DA06 , 4D075DA08 , 4D075DB13 , 4D075DC22 , 4D075EA07 , 4D075EA45 , 4F041AA06 , 4F041AA12 , 4F041AB02 , 4F041BA21 , 4F041BA32 , 4F041BA56 , 4F041CA02 , 4F041CA22 , 4F041CA28 , 4F042AA07 , 4F042BA08 , 4F042BA25 , 4F042CA01 , 4F042CB02 , 4F042DE01 , 4F042DF07 , 4F042DG01 , 4F042EB09 , 4F042EB13 , 4F042EB17 , 5F046JA02 , 5F046JA05 , 5F046JA10

引用特許：

審査官引用 (6件)

現像装置および現像方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-110816 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
レジスト塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-262045 出願人：新日本無線株式会社
微細造形方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-027162 出願人：工業技術院長

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